دستگاه های استریلایزر پلاسما سریع ترین نوع استریل را در درجه حرارت پایین دارا می باشد. یک سیکل کامل این دستگاه ها بسته به حجم چمبر بین 28 تا 75 دقیقه بیشتر به طول نمی انجامد. درجه حرارت استریلایزر پلاسما پایین تر از فرمالدئید و در حد اتیلن اکساید و بین 45 تا 55 درجه سانتی گراد بوده و عمر محصولات پلیمری در اثر استریل با این دما بسیار بیشتر از انواع دیگر استریل است و در نتیجه از نظر اقتصادی مقرون به صرفه تر است. در عین حال به علت این دمای پایین استریل، وسایل را می توان بلافاصله پس از استریل از چمبر خارج کرد و استفاده کرد. نکته دیگر تاثیر گذار بر این قضیه غیر سمی بودن استریل با پلاسما است که بر خلاف سایر روش ها محصولات استریل شده نیازی به پاک شدن مواد سمی از روی خود ندارند و این مسئله نه تنها یک سیکل اضافی را در مقایسه با سایر استریلایزرها برای روبیدن مواد سمی کم می کند و درنتیجه زمان استریل را پایین می آورد که خود منجر به استفاده از وسایل بلافاصله پس از استریل می شود.
از دیگر مزایای مهم استفاده از این دستگاه ها کاربرد راحت آن ها است چرا که هیچ نیازی به وسایل جانبی مثل لوله کشی یا سیستم تهویه ندارند و محصولات استریل در آن که بسیار مفید نیز هستند(مثل اکسیژن) در محیط رها می شوندو در واقع نه تنها محیط را آلوده نمی کنند بلکه آن را از آلودگی پاک می کنند.
راحتی کاربرد دستگاه های پلاسما در این نکته نیز نهفته است که برای به کار انداختن این دستگاه ها تنها به جریان برق نیاز است. بدین معنا که مانند یک یخچال به برق زده شده و شروع به کار می کنند. این مسئله استفاده از آن ها را برای حتی پرسنل آموزش ندیده بسیار راحت می‌کند.
در عین حال که به علت خطراتی که برای سلامت انسان دارند و همچنین نیاز به لوله کشـی و ابعـاد بـزرگ دستگـاه هـای فـرمـالـدئیـد و اتیلن اکساید، قرار گرفتن آن ها در مطب‌های شخصی غیر ممکن است، استریلایزر پلاسما در سایز های کوچک می تواند در مطـب هـایـی که اعمال جراحی مثل جراحی فک و صورت یا مراکز دندانپزشکی یا اتاق‌های عمل چشم به راحتی قرار گرفته و باعث صرفه جویی اقتصادی قابل توجهی برای پزشک جراح شوند.
علاوه بر تمام این نکات برخورداری از تاییدیه های بین المللی مانند استاندارد اروپا، انواع استانداردهای مهم EN و مهم تر از همه تاییدیه FDAمشخص کننده اطمینان لازم برای این محصولات است.
اصلی ترین محدودیت استریلایزرهای پلاسما در میزان نفوذ این ماده در لومن های باریک با طول بلند خلاصه می شود. در کنار دستگاه پلاسما جدول استانداردی داده می‌شود که بر اساس آن محدوده عملکرد پلاسما مشخص می شود. از روی این جدول می توان دید که یک لومن با یک قطر مشخص یا طول مشخص، باید حداقل چه طول یا قطری داشته باشد که دستگاه بتواند آن را استریل کند. براساس اطلاعات مندرج در یکی از ایـن جـداول بـرای دستگـاه استریلایزر پـلاسمـا متعلـق بـه یـک کمپـانـی لیدر در بازار، دستگاه‌‌های نسل جدید این شرکت قادر هستند لومن هایی با باریکی بزرکتر از 667/0 میلیمتر ( 2 )FRENCH را استریل کنند. براساس جنس ماده مورد استفاده در ابزارهای نیازمند استریل دستگاه های این کمپانی قادر است بر اساس جنس حتی تا طول نزدیک به 1000 میلیمتر را نیز برای لومن های یک راهه استریل کند.
